Методы создания системы металлизации с индиевыми микроконтактами для кремниевых матричных МОП-мультиплексоров (2008)
Рассмотрены особенности различных вариантов технологических маршрутов изготовления многослойной системы металлизации с индиевыми микроконтактами (системы V—Al—Mo, V—Al—V, V—Al—Cr—Ni). Приведены данные, обосновывающие применение каждого из слоев металла для достижения необходимых электрических параметров мультиплексоров и обеспечения нужной адгезии индия к верхнему слою металла при формировании индиевых микроконтактов.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№1 (2008)
История, современное состояние и перспективы развития полупроводниковых матричных ИК-фотодиодных структур и технологий (1999)
Представлены сведения о начальной стадии развития многоэлементных полупроводниковых фотодиодных структур, связанных с изобретением в России координатно-чувствительного фотодиода с поперечным фотоэффектом (квадратного). Сообщается об изобретении в России схемы ВЗН на МОП-мультиплексорах. Представлены данные по развитию матричных ИК-фотодиодных структур по годам с 1975 по 1995 как за рубежом, так и в НПО “Орион”. Указаны перспективы развития работ по ИК-фотодиодным матрицам
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№1 (1999)