Методы создания системы металлизации с индиевыми микроконтактами для кремниевых матричных МОП-мультиплексоров (2008)
Рассмотрены особенности различных вариантов технологических маршрутов изготовления многослойной системы металлизации с индиевыми микроконтактами (системы V—Al—Mo, V—Al—V, V—Al—Cr—Ni). Приведены данные, обосновывающие применение каждого из слоев металла для достижения необходимых электрических параметров мультиплексоров и обеспечения нужной адгезии индия к верхнему слою металла при формировании индиевых микроконтактов.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№1 (2008)