Полупроводниковые фоточувствительные структуры с фианитом как пассивирующим защитным покрытием (2009)
Приведены результаты первых исследований по созданию полупроводниковых фоточувствительных структур на фианите. Отработаны этапы технологии создания полупроводниковых фотоприемников с защитными пленками ZrO2 (аналогами фианита). На основе измерений пробных образцов показана перспективность использования пленок ZrO2 для полупроводниковых фотоприемников.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№2 (2009)