Научный архив: статьи

Рассмотрены тенденции развития современного вакуумного оборудования и проблемы создания сверхчистой вакуумной технологической среды в электронном производстве. Приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и внутрикамерных устройств без узлов трения с использованием для формирования усилий и перемещений управляемой упругой деформации. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий.

Рассмотрены вопросы виброзащиты объектов в аналитическом и технологическом оборудовании. Предложена четырехуровневая система защиты объектов микроэлектроники от вибраций. Для каждого из уровней системы представлены технологические решения виброзащитных устройств.