Исследование пленок a-Si и применение их в технологии матричных МОП-мультиплексоров и болометров (2008)
Проведены электронографические исследования структуры аморфных кремниевых пленок, полученных магнетронным распылением в вакууме, и поликристаллических кремниевых пленок, полученных пиролизом моносилана при пониженном давлении. Отмечены лучшее структурное совершенство поликремниевых затворов и больший процент выхода мультиплексоров, использующих аморфные кремниевые пленки. В качестве омических контактов к болометрическим слоям на основе высокоомного a-Si рассмотрена система аморфный кремний — ванадий.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2008)