Статья: Влияние режимов синтеза на характеристики микрорезонаторов германия-кремния на толстом оксидном слое кремния (2026)

Читать онлайн

Определены зависимости структурных параметров германиевых микрорезонаторов, сформированных на окисленной кремниевой поверхности (средний размер островков, распределение размеров островков, отношение высоты островков к их диаметру и поверхностная плотность островков), от условий отжига после роста. Исследованы оптические характеристики полученных гетероструктур с микрорезонаторами. Продемонстрирована потенциальная возможность их использования в качестве поглощающих структур, а также антиотражающих покрытий для определенных длин волн. Предложены методы управления геометрическими и оптическими характеристиками ансамблей микрорезонаторов путем изменения параметров их эпитаксиального синтеза.

In this study dependences of the structural parameters of germanium microresonators formed on an oxidized silicon surface (average island size, island size distribution, island height-to-diameter ratio, and island surface density) on post-growth annealing conditions were deter-mined. Optical characteristics of the resulting heterostructures with microresonators were inves-tigated. Their potential for use as absorbing structures as well as antireflection coatings for cer-tain wavelengths was demonstrated. Methods for controlling the geometric and optical charac-teristics of microresonator ensembles by varying the parameters of their epitaxial synthesis were proposed

Ключевые фразы: микрорезонаторы, кремний, германий, молекулярно-лучевая эпитаксия, атомно-силовая микроскопия, спектры пропускания, спектры отражения
Автор (ы): Кукенов Олжас (Kukenov O.), Дирко Владимир Владиславович, Лозовой Кирилл Александрович, Майер Ксения, Ворсин Олег, Катренко Владислав, Шабанов Генрих, Коротаев Александр Григорьевич, Коханенко Андрей Павлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.215. Электрическое действие. Фотоэлектрические явления. Фотоэлектрический эффект
539.231. механическим путем, например напылением
Для цитирования:
КУКЕНОВ О., ДИРКО В. В., ЛОЗОВОЙ К. А., МАЙЕР К., ВОРСИН О., КАТРЕНКО В., ШАБАНОВ Г., КОРОТАЕВ А. Г., КОХАНЕНКО А. П. ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ СИНТЕЗА НА ХАРАКТЕРИСТИКИ МИКРОРЕЗОНАТОРОВ ГЕРМАНИЯ-КРЕМНИЯ НА ТОЛСТОМ ОКСИДНОМ СЛОЕ КРЕМНИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2026. №4
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.