Статья: Проектирование разрядной ячейки ионного источника с полым холодным катодом (2008)

Читать онлайн

Найдена эффективная ионно-оптическая система ионного источника с холодным катодом для формирования ионного пучка диаметром до 150 мм с неоднородностью плотности ионного тока не более 5 % и энергией ионов от 1 до 3 кВ. Такие параметры пучка позволяют проводить травление полупроводниковых материалов без радиационных повреждений и недопустимых тепловых нагрузок при плотности ионного тока до 1 мА/см2. Методом компьютерного моделирования определены параметры ионного пучка на выходе из разрядной ячейки, гарантирующие требуемую однородность плотности ионного тока при мультиплицировании разрядных ячеек, а также геометрические размеры электродов, обеспечивающие эти параметры.

The paper is devoted to some aspects of the cold-cathode ion sources design for generating wide low-energy and homogeneous ion beams, with the current density not-homogeneity over the beam cross-section not exceeding 5 % and the current value required for the needs of the technological process. Тhe electron-optical properties of such ion sources are analyzed. Parameters of the ion beam generated by a single cell are optimized to achieve higher current homogeneity. The optimal electrode dimensions — the channel diameter, the anode width, and cathode-anode separation — were determined by means of computer simulation of electric and magnetic field and calculating the charged particle trajectories with the aim to increase volume of the ionization region with the oscillatory electron motion and guarantee required ion energy distribution.

Ключевые фразы: электронные пучки, ионные пучки, электронная оптика
Автор (ы): Козлов А. Н. (Kozlov A. N.), Гайдукова И. С., Гринфельд Д. Э., Филачев Анатолий Михайлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.533. Электронные (катодные) пучки и геометрическая оптика. Электронная оптика
Для цитирования:
КОЗЛОВ А. Н., ГАЙДУКОВА И. С., ГРИНФЕЛЬД Д. Э., ФИЛАЧЕВ А. М. ПРОЕКТИРОВАНИЕ РАЗРЯДНОЙ ЯЧЕЙКИ ИОННОГО ИСТОЧНИКА С ПОЛЫМ ХОЛОДНЫМ КАТОДОМ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2008. №4
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.