Статья: Применение импульсного УФ-лазера для скрайбирования фотоприемных матриц и линеек на МЛЭ КРТ (2008)

Читать онлайн

Увеличение массива фотоприемных ячеек в инфракрасных фотоприемных устройствах (ИК—ФПУ) приводит к росту физических размеров фотоприемных микросхем. Этому препятствуют увеличение вероятности возникновения неработающих ячеек во время изготовления и увеличение вероятности разрыва индиевых столбов связи между КРТ-фотоприемниками и кремниевой микросхемой считывания при термоциклировании во время эксплуатации. Применение концентрированного лазерного излучения для скрайбирования позволяет избежать эти проблемы.

Increase the quantity of photodetoctors in monolithic IR FPA brings about increase the physical sizes of microcircuit. It is increase of probability refusal of separate cells the origin during fabrication and increase of probability break off of indium interconnection between microcircuit of the photodetectors and silicon microcircuit of the sensing under thermocicles during of works. Using of concentrated laser radiation for dicing allows to avoid these problems.

Ключевые фразы: применение импульсного уф-лазера, фотодиоды на основе млэ крт, использование явлений в практических целях
Автор (ы): Новоселов А. Р. (Novoselov A. R.), Клименко А. Г., Васильев В. В.
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53.043. физические
53.06. Использование явлений в практических целях
Для цитирования:
НОВОСЕЛОВ А. Р., КЛИМЕНКО А. Г., ВАСИЛЬЕВ В. В. ПРИМЕНЕНИЕ ИМПУЛЬСНОГО УФ-ЛАЗЕРА ДЛЯ СКРАЙБИРОВАНИЯ ФОТОПРИЕМНЫХ МАТРИЦ И ЛИНЕЕК НА МЛЭ КРТ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2008. №1
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.