Статья: Ионный поток на непроводящую поверхность в пучково-плазменном разряде: расчет и эксперимент (2009)

Читать онлайн

Проведен компьютерный расчет модели плазменного слоя у непроводящей поверхности в пучково‐плазменном разряде (ППР) при слабом магнитном поле в камере. Правильность результатов компьютерного расчета подтверждена экспериментальными данными. На основе результатов компьютерного расчета выбран оптимальный режим травления GaAs в плазмохимическом реакторе на основе ППР. Проведен также расчет аналогичной модели для режимов напыления алмазноподобных пленок.

The computer calculation of model of plasma sheath near non-conducting surface at beamplasma discharge at low magnetic field has been carried out. An accuracy of computer calculation results has been confirmed by experimental data. A regime for optimum etching of GaAs has been chosen based on the calculations. Also the computer calculation of model of ion flux interaction with non-conducting surface for carbon-like sputtering regimes has been performed.

Ключевые фразы: ИОННЫЙ ПОТОК, пучково-плазменный разряд, поверхность, расчет, эксперимент
Автор (ы): Курнаев Валерий Александрович (Kurnaev V. A.), Песков Вадим Вячеславович, Чмиль Алексей Иванович, Шустин Евгений Германович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533. Механика газов. Аэродинамика. Физика плазмы
Для цитирования:
КУРНАЕВ В. А., ПЕСКОВ В. В., ЧМИЛЬ А. И., ШУСТИН Е. Г. ИОННЫЙ ПОТОК НА НЕПРОВОДЯЩУЮ ПОВЕРХНОСТЬ В ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОМ РАЗРЯДЕ: РАСЧЕТ И ЭКСПЕРИМЕНТ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2009. №6
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.