Статья: Управление энергетическими характеристиками ионного потока в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда (2009)

Читать онлайн

Показано, что на основе ранее обнаруженного эффекта генерации в пучково‐плазменном разряде (ПРР) ионного потока от оси разряда может быть создан плазмохимический реактор для низкоэнергетичного травления полупроводниковых структур. Здесь показана возможность простого управления плотностью и энергией ионного потока путем изменения потенциала коллектора разряда. Реализованы средства компенсации заряда ионного потока, падающего на непроводящую поверхность, с помощью модуляции потенциала держателя подложки, а также путем модуляции потенциала плазмы.

Earlier we have detected effect of generation of ion flow from a discharge axis in beam plasma discharge. There has been shown, that on the basis of this effect plasma processing reactor for can be created for low energy etching of semiconductor structures. Possibility of simple control of ion stream density and energy is shown here by change of a potential of a collector of discharge. The means of compensation of an ion stream charge incident on a non-conducting surface with the help of modulation of a potential of a substrate holder have been implemented, and also by modulation of a potential of plasma.

Ключевые фразы: ГЕНЕРАЦИЯ, плазменно-пучковый разряд, ИОННЫЙ ПОТОК, плазмохимический реактор
Автор (ы): Исаев Николай Васильевич (Isaev N. V.), Клыков Илья Леонидович, Шустин Евгений Германович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.9.07. Установки и аппаратура для изучения и создания плазмы
Для цитирования:
ИСАЕВ Н. В., КЛЫКОВ И. Л., ШУСТИН Е. Г. УПРАВЛЕНИЕ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ ИОННОГО ПОТОКА В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ РЕАКТОРЕ НА БАЗЕ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2009. №6
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.