Читать онлайн

Радиационные повреждения в многослойных зеркалах, планируемых для литографии нового поколения, так же, как и деградация материалов термоядерных реакторов, могут быть связаны с образованием вакансионно‐газовых дефектов (блистеров) в кристаллической решетке. Разработка численной модели гетерогенного фазового перехода, рассматриваемого как процесс кластеризации зародышей в “открытой” плазмоподобной среде, включает в себя использование метода стохастического аналога решения квазилинейных уравнений математической физики устойчивыми методами и открывает новые возможности в оценке рабочих качеств оптической системы, анализа механизмов фазового перехода 1-го рода на его неравновесной стадии и формирования шероховатости на границах слоев конструкционных материалов.

Stochastic computer simulation of vacancies-gaseous defects into crystal lattice is applied to investigation of alternating thin layers medium of technological metal mirror. These diagnostic devices are used for radiation focuses on the detectors. The vacancies-gaseous defects storage into lattice (or blistering) is caused by fluxes of high energy particles which migrate beneath the surface. Radiation stimulated defects and its clusters (or bubbles with alternating mass) participate in Brownian motion which leads to follows: porosity, stress of lattice as well as to roughness with peaks and craters on the surface and flaking off of surface layer. Kinetic model of the first order phase transition in form of blistering worked out and it may be used in technologies materials and structures producing.

Ключевые фразы: радиационные повреждения, многослойные зеркала, КВАЗИЛИНЕЙНЫЕ УРАВНЕНИЯ, кон-струкционные материалы
Автор (ы): Бондарева Анна Леонидовна (Bondareva A. L.), Змиевская Галина Ивановна, Иванов Антон Валерьевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
51-72. в механике и физике строения вещества
533.9.01. Теория и физика плазмы
Для цитирования:
БОНДАРЕВА А. Л., ЗМИЕВСКАЯ Г. И., ИВАНОВ А. В. БЛИСТЕРИНГ НА ТОНКОЙ ПЛЕНКЕ И В СЛОИСТОЙ СРЕДЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2009. №6
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.