Статья: Характеристики плазмы магнетронного разряда на больших расстояниях от катода (2009)

Читать онлайн

Измерены параметры плазмы магнетрона на больших расстояниях, в несколько раз превышающих диаметр катода. Зондовым методом измерены температура и плотность плазмы, составляющие 1,4 эВ и 6⋅1010 см-3, соответственно. Получены зависимости плотности и температуры плазмы от потока аргона при нанесении покрытия TiAlN. Получена очистка подложки ионным распылением перед нанесением покрытия при напряжении смещения на подложке более 200 В.

Plasma characteristics of magnetron on long distance from cathode which a few times more then cathode diameter are measured. Plasma temperature and density are 1.4 eV and 6⋅1010 cm-3 measured by plasma probe. Dependences of plasma temperature and density from argon flow in vacuum chamber in process of TiAlN coating are obtained. Substrate cleaning by ion spattering before coating is obtained with substrate bias voltage more then 200 V.

Ключевые фразы: плазма, аргон, ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Автор (ы): Пашенцев В. Н. (Pashentsev V. N.)
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.793.74. Металлизация плазменным распылением (плазменная металлизация)
Для цитирования:
ПАШЕНЦЕВ В. Н. ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛАЗМЫ МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА НА БОЛЬШИХ РАССТОЯНИЯХ ОТ КАТОДА // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2009. №4
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.