Статья: Неохлаждаемое микроболометрическое фотоприемное устройство формата 320x240 на основе золь-гель VOx (2010)

Читать онлайн

Разработана технология изготовления неохлаждаемых микроболометрических фотоприемных устройств формата 320x240, чувствительных в спектральном диапазоне 8—14 мкм и состоящих из матричного микроболометрического приемника мостикового типа, термоэлектрического стабилизатора температуры и малогабаритного вакуумного корпуса, снабженного просветленным германиевым окном и газопоглотителем. Достигнута разность температур, эквивалентная шуму, менее 100 мК при угле зрения 60° и частоте кадров 50 Гц.

The technology of fabrication of 320x240 uncooled microbolometer sensor assembly operated in the 8—14 micron spectral region is developed. The sensor assembly includes bridge type microbolometer focal plane array, thermoelectric stabilizer of temperature, small-size vacuum package, antireflection coated germanium window and getter. Noise equivalent temperature difference better than 100 mK has been demonstrated at 50 Hz frame rate and 60º field of view.

Ключевые фразы: микроболометры, оксид ванадия, золь-гель, мультиплексор, неохлаждаемый, инфракрасный, приемник
Автор (ы): Демьяненко Михаил Алексеевич (Demyanenko M. A.), Фомин Борис Иванович, Васильева Людмила Львовна, Волков Сергей Алексеевич, Марчишин Игорь Владимирович, Есаев Дмитрий Георгиевич, Овсюк Виктор Николаевич, Дшхунян Валерий Леонидович, Володин Евгений Борисович, Ермолов Александр Викторович, Усов Павел Павлович, Чесноков Владимир Петрович, Четверов Юрий Степанович, Кудрявцев Павел Николаевич, Здобников Александр Евгеньевич, Игнатов Александр Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
535.231.6. Измерение полного излучения с помощью неселективных приемников. Вид неселективных приемников обозначать при помощи : (знак отношения), например,
Для цитирования:
ДЕМЬЯНЕНКО М. А., ФОМИН Б. И., ВАСИЛЬЕВА Л. Л., ВОЛКОВ С. А., МАРЧИШИН И. В., ЕСАЕВ Д. Г., ОВСЮК В. Н., ДШХУНЯН В. Л., ВОЛОДИН Е. Б., ЕРМОЛОВ А. В., УСОВ П. П., ЧЕСНОКОВ В. П., ЧЕТВЕРОВ Ю. С., КУДРЯВЦЕВ П. Н., ЗДОБНИКОВ А. Е., ИГНАТОВ А. А. НЕОХЛАЖДАЕМОЕ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКОЕ ФОТОПРИЕМНОЕ УСТРОЙСТВО ФОРМАТА 320X240 НА ОСНОВЕ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ VOX // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2010. №4
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.