Публикации автора

Предложен способ оптимизации параметров процесса ионно-плазменного распыления мишеней тройных карбонатов щелочноземельных металлов Ba, Sr, Ca. Для построения прогнозной модели использована искусственная нейронная сеть (ИНС) с генетическим алгоритмом. Определены параметры напыления для получения тока эмиссии в диапазоне 70–120 мкА тонкопленочных термоэмиссионных микрокатодов. Выполнено сравнение результатов прогнозирования с экспериментальными данными по эмиссии изготовленных микрокатодов, а также с расчетами, полученными с помощью других моделей машинного обучения. Это сравнение показало, что ИНС позволяет найти более точную комбинацию параметров осаждения покрытий для создания эффективных термоэмиссионных микрокатодов

Представлены результаты исследования влияния технологических режимов ионноплазменного напыления на микроструктуру и эмиссионные свойства молекулярнонапыленных оксидных катодов (МНОК) малошумящих СВЧ-приборов. Методами сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) с энергодисперсионной приставкой и атомно-силовой микроскопии (АСМ) исследована морфология поверхности, внутренняя структура, а также элементный анализ эмиссионных покрытий (М-покрытий). Показана зависимость эмиссионных свойств МНОК от условий осаждения покрытий. Плотность М-покрытия и размер зерен возрастают с уменьшением давления рабочего газа, а шероховатость уменьшается.

Представлены результаты исследования долговечности молекулярно-напыленных оксидных катодов в циклотронных защитных устройствах. Методами атомно-силовой микроскопии исследована морфология эмиссионной поверхности напыленного катода. Приведены эмиссионные характеристики катодов и графики зависимости срока службы от температуры и плотности тока. С применением растровой электронной микроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии показано влияние предельных параметров работы катода на морфологию и состав поверхности.

Показаны возможности применения волоконного лазера с фемтосекундной длительностью импульсов излучения в изготовлении миниатюрных термоэмиссионных катодов из 50 мкм вольфрам-рениевой фольги. Катодный узел, состоящий из подогревателя и керна, выполнен в виде цельной конструкции с нанесенным методом ионно-плазменного напыления оксидным покрытием. Представлены эмиссионные характеристики катода.