Статья: Нейросетевая оптимизация параметров ионно-плазменного осаждения термоэмиссионных покрытий (2026)

Читать онлайн

Предложен способ оптимизации параметров процесса ионно-плазменного распыления мишеней тройных карбонатов щелочноземельных металлов Ba, Sr, Ca. Для построения прогнозной модели использована искусственная нейронная сеть (ИНС) с генетическим алгоритмом. Определены параметры напыления для получения тока эмиссии в диапазоне 70–120 мкА тонкопленочных термоэмиссионных микрокатодов. Выполнено сравнение результатов прогнозирования с экспериментальными данными по эмиссии изготовленных микрокатодов, а также с расчетами, полученными с помощью других моделей машинного обучения. Это сравнение показало, что ИНС позволяет найти более точную комбинацию параметров осаждения покрытий для создания эффективных термоэмиссионных микрокатодов

A method for optimizing the parameters of the ion-plasma sputtering process of triple carbonates of alkaline-earth metals Ba, Sr, Ca is proposed. An artificial neural network (ANN) with a genetic algorithm is used to build a predictive model. The sputtering parameters are determined to obtain an emission current in the range of 70–120 A for thin-film thermionic microcathodes. The prediction results are compared with the actual emission data of the manufactured microcathodes and those calculated by other machine learning models. Based on the comparison, it was shown that the ANN allowed for finding a more accurate combination of coating deposition parameters to obtain efficient thermionic microcathodes.

Ключевые фразы: молекулярно-напыленный оксидный микрокатод (мнок), ионно-плазменное напыление, машинное обучение, прогнозирование, искусственная нейронная сеть, генетический ал-горитм
Автор (ы): Жабин Геннадий Анатольевич (ZHabin G. A.)
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.385. Электронные лампы. Высоковакуумные термокатодные лампы
Для цитирования:
ЖАБИН Г. А. НЕЙРОСЕТЕВАЯ ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ ТЕРМОЭМИССИОННЫХ ПОКРЫТИЙ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2026. №3
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.