Система металлизации КМОП-мультиплексоров для элементов микроболометрической матрицы 160X 120 (2008)
Рассмотрены вопросы межслойной изоляции и планаризации при изготовлении мультиплексоров с двухуровневой металлизацией. Приведены параметры разработанного КМОП-мультиплексора для микроболометрических матриц форматом 160X120.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2008)