О “взрывном” способе изготовления систем металлизации и микроконтактов в БИС считывания фотосигнала (2010)
Рассмотрена технология “взрывного” способа изготовления токоведущих систем и микроконтактов в больших интегральных схемах (БИС).
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№4 (2010)