Многофункциональная система для производства элементов микроэлектроники и компьютерной электронно-лучевой оптики (2011)
Рассмотрены преимущества и различные возможности проектирования и разработки многофункционального многопучкового электронно‐лучевого оборудования без привносимой дефектности, с низкими радиационными нагрузками на обрабатываемый объект при производстве изделий микроэлектроники, компьютерной электронно‐лучевой оптики и системотехнических устройств.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№4 (2011)
Повышение добротности колебательной системы атомно-силового микроскопа (2012)
Рассмотрены причины низкого фазового контраста изображения в атомно-силовом микроскопе (АСМ) при исследовании поверхности. Определены пути улучшения фазового контраста изображения в АСМ. Рассмотрены принципиально новые подходы к проектированию АСМ с миниатюрной вакуумной системой, обеспечивающей условия для улучшения фазового контраста изображения.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2012)