Исследованы остаточные напряжения и микротвердость конденсата, полученного вблизи титанового катода установки ННВ-6.6И4 при нанесении TiN-покрытий.
В рамках метода молекулярной динамики проведено компьютерное моделирование процесса взаимодействия ионов титана с нанокластерами Ti13. Получены энергетические и угловые распределения конденсированных, прошедших и отразившихся от кластера ионов в зависимости от первоначальной энергии бомбардирующих частиц.
Методами растровой электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии исследована микроструктура и фазовый состав (Zr, N)-конденсата, осажденного вблизи циркониевого катода. Обнаружено присутствие макрочастиц как результат конденсации капельной фракции ионно-плазменного потока. Их число увеличивается в направлении распространения плазменного потока. Форма частиц изменяется от сферы до диска с периферическим кольцевым валиком. Рентгенографические исследования показали присутствие кристаллографических фаз α-циркония и нитрида циркония. Их преимущественная ориентация роста определяется давлением реакционного газа и местом конденсации в вакуумной камере. Предложены возможные механизмы формирования микроструктуры и фазового состава.