Статья: Остаточные напряжения и микротвердость конденсата, полученного вблизи титанового катода при нанесении TiN-покрытий методом конденсации с ионной бомбардировкой (2009)

Читать онлайн

Исследованы остаточные напряжения и микротвердость конденсата, полученного вблизи титанового катода установки ННВ-6.6И4 при нанесении TiN-покрытий.

Residual stresses and microhardness of the condensate received near to the titanium cathode of installation NNV-6.6I4 at drawing of TiN-coatings are explored.

Ключевые фразы: физика плазмы, НИТРИД ТИТАНА, ионы
Автор (ы): Панькин Николай Александрович (Pankin N. A.), Смоланов Николай Александрович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
533.924. Взаимодействие плазмы с поверхностью твердого тела
538.975. Физика тонких пленок, нитевидных кристаллов и дендритов
Для цитирования:
ПАНЬКИН Н. А., СМОЛАНОВ Н. А. ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ И МИКРОТВЕРДОСТЬ КОНДЕНСАТА, ПОЛУЧЕННОГО ВБЛИЗИ ТИТАНОВОГО КАТОДА ПРИ НАНЕСЕНИИ TIN-ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ КОНДЕНСАЦИИ С ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2009. №3
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.