Применение импульсного УФ-лазера для скрайбирования фотоприемных матриц и линеек на МЛЭ КРТ (2008)
Увеличение массива фотоприемных ячеек в инфракрасных фотоприемных устройствах (ИК—ФПУ) приводит к росту физических размеров фотоприемных микросхем. Этому препятствуют увеличение вероятности возникновения неработающих ячеек во время изготовления и увеличение вероятности разрыва индиевых столбов связи между КРТ-фотоприемниками и кремниевой микросхемой считывания при термоциклировании во время эксплуатации. Применение концентрированного лазерного излучения для скрайбирования позволяет избежать эти проблемы.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№1 (2008)