Для детального анализа микрорельефа поверхности семян ячменя, обработанных нетермической аргоновой плазмой при атмосферном давлении, использован метод атомно-силовой микроскопии. Образцы обрабатывали СВЧ-плазмой в течение 30 минут и сравнивали с контролем. Методом атомно-силовой микроскопии на отечественном сканирующем зондовом микроскопе СММ-2000 получены топографические кадры с разрешением до 10 нм, вычислены параметры средней шероховатости Ra, среднего размера зёрен Sm микронеровностей на поверхности семян и размера субзёрен S, из которых состоят эти зёрна, а также проведён гранулометрический анализ распределения зёрен по диаметру. После плазменной обработки Ra увеличился с 56 до 94 нм, Sm – с 2,37 до 3,45 мкм, тогда как S уменьшился с 224 до 199 нм, а медианный диаметр зёрен – со 159 до 134 нм. Наблюдаемые изменения находятся в пределах естественной неоднородности рельефа семян.