Статья: Ионные потоки из пучково-плазменного разряда в слабом магнитном поле: физика и применение (2008)

Читать онлайн

Проведены численное моделирование динамики развития пучковой неустойчивости в ограниченном объеме плазмы при слабом магнитном поле и измерения функции распределения электронов по скоростям. Результаты физических и машинных экспериментов позволили определить механизм исследуемого эффекта и найти способ управления энергией и плотностью ионного потока. Одно из возможных приложений эффекта — новый тип плазмохимического реактора для обработки материалов, используемых в электронике. Проведена апробация технологии мягкого травления барьерного слоя гетероструктуры AlGaAs/InGaAs/GaAs.

A numerical simulation of dynamics of beam instability development in a bounded volume of plasma at a low magnetic field and measurements of a velocity distribution function of electrons have been carried out. Is shown, that in area occupied by an electron beam highly non-equilibrium plasma with mean energy of electrons reaching hundreds of eV is formed due to accumulation of HF field. The acceleration of ions is a consequence of presence of a potential gradient between area with high level of microwave oscillations and peripheral area of plasma have been carried out. The effect of essential heating of electrons in paraxial area is detected. Results of physical and computer experiments have enabled to determine a mechanism of the effect under studies and to find a way of control of the flow energy and density. Possible application of the effect is a novel plasma processing reactor for treatment of materials used in electronics engineering. In particular, information is represented here on approbation of soft etching technology of AlGaAs barrier layer at semiconducting AlGaAs/InGaAs/GaAs heterostructure.

Ключевые фразы: физика плазмы, ионные потоки из пучково-плазменного разряда, ПРИМЕНЕНИЕ
Автор (ы): Исаев Н. В. (Isaev N. V.), Шустин Евгений Германович, Темирязева Марина Павловна, Тараканов В. П., ФЕДОРОВ Ю. В.
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
53. Физика
Для цитирования:
ИСАЕВ Н. В., ШУСТИН Е. Г., ТЕМИРЯЗЕВА М. П., ТАРАКАНОВ В. П., ФЕДОРОВ Ю. В. ИОННЫЕ ПОТОКИ ИЗ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО РАЗРЯДА В СЛАБОМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ: ФИЗИКА И ПРИМЕНЕНИЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2008. №3
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.