Ключевая фраза: осаждение кремния

Материалы

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «осаждение кремния».

Статьи: 1

01.Получение поликристаллического кремния из моносилана в электронно-пучковой плазме (2009)

Сохранить в закладках

Журнал:

ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Автор(ы):

Константинов В. О., Щукин В. Г., Шарафутдинов Р. Г., Карстен В. М., Гартвич Г. Г., Семенова О. И.