Электронные микроскоп ЗНТЦ

Электронные микроскопы. Россия
В ЗНТЦ займутся разработкой опытного образца сканирующего электронного микроскопа для контроля чипов
Об этом сообщает CNews. Оборудование типа CD-SEM должно позволять контролировать и измерять размеры элементов, сформированных на поверхности подложек - пластин диаметром 100, 150 и 200 мм.
Российская разработка, как ожидается, сможет заменить японские установки Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000.
Как и в других подобных случаях, критические узлы должны быть отечественными (электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки-выгрузки пластин, центральный контроллер и программное обеспечение).
Сумма контракта - 2,37 млрд. Срок исполнения - до 30 июня 2030 года.