Лазерный литограф LG

Оборудование для упаковки. Advanced Packaging. Производственное оборудование. Безмасочные литографы. Корея
LG начала продажи собственного безмасочного литографа за $2 млн
Южнокорейская LG PRI (LG Production Engineering Research Institute) начала коммерческие поставки системы лазерной прямой литографии (Laser Direct Imaging, LDI). Первыми заказчиками стали дочерняя LG Innotek и неназванный зарубежный производитель печатных плат. Стоимость одной установки - около $2 млн (примерно 3 млрд вон).
В отличие от классических степперных литографов, система LG не использует фотошаблоны (маски). Вместо этого мощный лазерный диодный модуль с длиной волны 405 нм формирует фиолетово-синий луч, который через микрозеркальное устройство (DMD) формирует рисунок непосредственно на поверхности заготовки. Формально это не УФ-диапзаон, но поскольку 405 нм очень близок, лучи этой длины волны часто относят к ультрафиолетовой части спектра.
Ключевые параметры:
✦ Разрешение: 1,5–3 мкм.
✦ Максимальный размер подложки: 600 × 600 мм
✦ Технология активной компенсации в реальном времени (RTAC) для коррекции деформаций материала
✦ Поддерживаемые материалы: печатные платы, кремниевые пластины, стеклянные подложки
Это не установка для производства современных чипов по нанометровым техпроцессам. Разрешение в 1,5-3 мкм на три порядка грубее, чем у DUV- и EUV-систем. LDI-системы в принципе не предназначены для формирования транзисторов на кремниевых пластинах - это инструмент для формирования (рисования) соединений, а не для создания самих микросхем.