Развитие модели системы уравнений баланса для расчета зарядовых распределений ионов в ионном источнике ЭЦР-типа (2008)
Выпуск:
№5 (2008)
Проанализирована широко распространенная модель уравнений баланса для расчета зарядовых распределений ионов (ЗРИ) в ионном источнике на электронно-циклотронном резонансе (ЭЦР) и предложена ее модификация, позволяющая более точно описывать процессы удержания и накопления тяжелых ионов в ЭЦР-плазме ионного источника в случае смеси газов. Обсужден подход расчета времени удержания частиц (ионов и электронов) на основе теории Пастухова, а именно расчет времен удержания в процессе двухэтапной минимизации функционалов специального вида. Дано сравнение с экспериментальными результатами.