Научный архив: статьи

Впервые получена и исследована матричная структура 200x200 термопневматических микромеханических преобразователей (ячеек Голея) в составе неохлаждаемого приемника ИК-излучения с оптоэлектронной системой считывания. Элементы диаметром 100 мкм сформированы на подложке ZnSe и заполнены ксеноном. В качестве поглощающего слоя использовались слои SiO2 с полосой поглощения 8—14 мкм. При использовании оптики ƒ/1 температурная чувствительность составляла 0,15 К/Гц1/2; мощность, эквивалентная шуму, 10 нВт/Гц1/2; время срабатывания — менее 30 мс.

В работе продемонстрировано использование оплавленных столбов для гибридной сборки фотоприемников в составе фотоприемной матрицы и кремниевого мультиплексора. Усилие на разрыв гибридных сборок фотоприемников с оплавленными индиевыми столбами на кремниевых мультиплексорах и неоплавленными столбами на фоточувствительных матрицах размерностью 128x128 составляло (27±1) Н при диаметре индиевых столбов 20 мкм сборки, если сборка производилась при температуре 120 °С.