Магнетронное нанесение оптических покрытий при питании магнетронов переменным напряжением средней частоты (2008)
Рассмотрены особенности распылительной технологии нанесения оптических покрытий с помощью магнетронов, питаемых переменным напряжением средней частоты, и вопросы ее практической реализации. Показано, что эта технология обеспечивает получение оптических покрытий высокого качества.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№3 (2008)