О накоплении продуктов распыления сегнетоэлектрической мишени в плазме тлеющего высокочастотного разряда (2012)
Обнаружена зона накопления микрочастиц по рассеиванию излучения лазера на парах меди в плазме высокочастотного емкостного разряда при напылении многокомпонентных наноразмерных сегнетоэлектрических пленок, которая находится на границе раздела отрицательного свечения и темного катодного пространства тлеющего разряда. Предполагается, что таковыми частицами являются заряженные продукты распыления сегнетоэлектрической мишени.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№5 (2012)
Исследование состава и динамики плотности пылевых частиц, образованных при распылении мишени из Ba(0,8)Sr(0,2)TiO3 в кислородном высокочастотном разряде (2014)
Исследованы наночастицы, образовавшиеся в плазме емкостного высокочастотного разряда при распылении керамической мишени титаната бария-стронция в среде кислорода. В полученных спектрах комбинационного рассеяния наблюдаются как линии исходного сложного оксида, так и линии простых оксидов. Приведены временные зависимости концентрации пыли в потенциальной ловушке, проанализирована динамика изменений. Сделанные оценки скорости движения пылевых частиц в разрядной камере согласуются с экспериментальными результатами.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№5 (2014)