Осаждение алмазных пленок в плазме СВЧ-факела при атмосферном давлении (2008)
В СВЧ-разряде факельного типа в аргон-водород-метановых смесях при атмосферном давлении реализовано осаждение алмазных пленок. Определены параметры плазмы в факеле, исследованы оптические спектры плазмы в условиях роста пленок. Представлены результаты анализа структуры углеродных пленок методом рамановского рассеяния.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№6 (2008)