Ключевая фраза: sf6 plasma

Материалы

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SCI.RU, с ключевым словом «sf6 plasma».

SCI Библиотека: 1

01.Статья: Исследование воздействия плазмы SF6 на поверхность НЕМТ-структур на основе GaN (2017)

Автор(ы):

Андрианов Н. А., Блинов Н. Е., ГАВРИЛОВ А. С., Смирнов А. С., Сомов П. А., Мусихин С. Ф., Кокин С. В., Красовицкий Д. М.

Статьи: 1

01.Исследование воздействия плазмы SF6 на поверхность НЕМТ-структур на основе GaN (2017)

Сохранить в закладках

Журнал:

УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Автор(ы):

Андрианов Н. А., Блинов Н. Е., ГАВРИЛОВ А. С., Смирнов А. С., Сомов П. А., Мусихин С. Ф., Кокин С. В., Красовицкий Д. М.

Функция копирования доступна только авторизованным пользователям. Зарегистрируйтесь или войдите в свой аккаунт.