Ключевая фраза: электронная литография

Материалы

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SCI.RU, с ключевым словом «электронная литография».

SCI Библиотека: 4

01.Книга: Материалы и методы нанотехнологий (2015)

Автор(ы):

В. В. Старостин

02.Книга: Материалы и методы нанотехнологий (2012)

Автор(ы):

Старостин В. В.

03.Книга: Технология кремниевой наноэлектроники (2011)

Автор(ы):

Данилина Т. И., Кагадей В. А., Анищенко Е. В.

04.Статья: ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ КАК НАИБОЛЕЕ ИНОВАЦИОННЫЙ МЕТОД ЛИТОГРАФИИ

Автор(ы):

Лунякина Т.А