Статья: Применение воздействия ионных пучков на структуры "пленка—подложка" в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем

Скачать

Работа посвящена применению воздействия ионных пучков на структуры “пленка—подложка” для усовершенствования технологии формирования активных структур кристаллов мощных высоковольтных транзисторов, лавинно‐пролетных диодов, систем металлизации ряда изделий полупроводниковой электроники.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Шауцуков Александр
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2010
Автор(ы): Шауцуков А. Г.
Ключевые фразы: ионный пучок, технология, полупроводниковая электроника
Каталог SCI: Физика
УДК: 621.382. Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: ВЛИЯНИЕ ПОЛОВОГО ДИМОРФИЗМА НА ОСОБЕННОСТИ МЕТАБОЛИЧЕСКИХ ИЗМЕНЕНИЙ В ОРГАНИЗМЕ ЛАБОРАТОРНЫХ ЖИВОТНЫХ ПРИ ОСТРОМ ХИМИЧЕСКИ ИНДУЦИРОВАННОМ ПОВРЕЖДЕНИИ ПОДЖЕЛУДОЧНОЙ ЖЕЛЕЗЫ

02. Статья: ДИФФЕРЕНЦИРОВАННАЯ ДЕМОКРАТИЯ КАК ВЫХОД ИЗ ПОЛИТИЧЕСКОГО ТУПИКА

03. Статья: АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ СТРАТЕГИЧЕСКИХ ТРЕНДОВ: МЕТОДОЛОГИЧЕСКИЙ АСПЕКТ И ПРИМЕНЕНИЕ НА РЕГИОНАЛЬНОМ УРОВНЕ

04. Статья: РЕАКЦИЯ США НА СОВЕТСКО-ЗАПАДНОГЕРМАНСКИЕ ПЕРЕГОВОРЫ В РАМКАХ ПОДГОТОВКИ И ПОДПИСАНИЯ МОСКОВСКОГО ДОГОВОРА 1970 Г.

05. Статья: Модель формировании лесопромышленных цепочек поставок сырья на склад с учетом особенностей

06. Статья: Особенности ведения пациентов с острым коронарным синдромом в реальной клинической практике по данным 15-летнего регистра

07. Статья: ОБУЧЕНИЕ ВЗРОСЛЫХ: ФАКТОРЫ, ПОБУЖДАЮЩИЕ К НЕПРЕРЫВНОМУ ОБУЧЕНИЮ

08. Статья: СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ ДИФФЕРЕНЦИАЦИИ ПРЕДМЕТА ОХРАНЫ ИСТОРИЧЕСКИХ СООРУЖЕНИЙ

09. Статья: О ПРИМЕНЕНИИ КОМПЬЮТЕРНОЙ ТЕХНИКИ ПРИ ИЗУЧЕНИИ ДИСЦИПЛИНЫ "ТЕОРИЯ ГРАФОВ"

10. Статья: КОМПЛЕКСНЫЙ АНАЛИЗ ХИМИЧЕСКИХ ВОЗДЕЙСТВИЙ НА ОКРУЖАЮЩУЮ СРЕДУ, ВОЗНИКАЮЩИХ ПРИ ЭКСПЛУАТАЦИИ АВИАЦИОННОЙ ТЕХНИКИ, И ВОЗМОЖНЫХ ПУТЕЙ РЕШЕНИЯ ДАННОЙ ПРОБЛЕМЫ (ОБЗОР)

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://sci.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.