Статья: Миниатюрная система вакуумной откачки электронно-зондовых устройств

Скачать

Рассмотрены перспективы создания миниатюрных электронно‐зондовых устройств с использованием миниатюрных элементов вакуумной электроники. Представлены результаты проектирования и исследования миниатюрных базовых элементов электроннооптических систем и откачных вакуумных средств. Рассмотрены принципиально новые подходы к проектированию миниатюрных электронно‐оптических и вакуумных систем, позволяющие перейти к практическому использованию низковольтной техники, обеспечивающей снижение радиационной нагрузки на объект при высокой разрешающей способности, а также переход к технологии вакуумной микросистемной техники. Приведены новые миниатюрные системы вакуумной откачки для использования в данных устройствах.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Васин Владимир
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2010
Автор(ы): Васин В. А., Васичев Б. Н., Степанчиков С. В.
Ключевые фразы: электронно-зондовые устройства, микросистемная электронно-лучевая техника, миниатюрная откачная система, безкорпусные вакуумные клапаны, миниатюрные вакуумные клапаны, насос на основе сплава накопителя водорода, сильфонный насос, сильфонно-поршневой насос, мембранный насос
Каталог SCI: Физика
УДК: 621. Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

Ранее вы смотрели (6)

01. Статья: ДВУХКОНТУРНАЯ СИСТЕМА УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ СЕПАРАЦИИ НЕФТИ В НЕФТЕГАЗОСЕПАРАТОРЕ

02. Книга: Свастика на сутанах

03. Книга: Краткая история ботаники

04. Книга: Законы механики в технике

05. Статья: Моделирование режимов работы плазменной антенны

06. Статья: Модели, алгоритмы и технологии решения задач электромагнетизма

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://sci.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.