Статья: Использование планарного магнетрона для напыления ферромагнитных пленок микронной и нанометровой толщины

Скачать

Представлен планарный магнетрон на постоянном токе с толстой никелевой, железной или стальной мишенью для напыления ферромагнитных пленок на подложку. Мишень нагревалась магнетронным разрядом выше магнитной температуры Кюри. Измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ), скорости распыления мишени, а также осаждения пленок на подложки и электропроводности пленок.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Юрков Артур
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2010
Автор(ы): Юрков А. Н., Власова Т. В., Крикунов Г. А., Кононов М. А.
Ключевые фразы: магнетрон, НАПЫЛЕНИЕ, ферромагнитные пленки, РАСПЫЛЕНИЕ, подложка
Каталог SCI: Физика
УДК: 537.6. Магнетизм
538.975. Физика тонких пленок, нитевидных кристаллов и дендритов

Ранее вы смотрели (6)

01. Статья: СТИМУЛИРОВАННАЯ ДЕСОРБЦИЯ В ПУЧКАХ ЭЛЕКТРОНОВ И ИОНОВ ДЛЯ СУБМИКРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ

02. Статья: ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РОБОТИЗАЦИИ ПРОЦЕССОВ ПРЕДПРИЯТИЙ НА ПОКАЗАТЕЛИ ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ СИСТЕМЫ

03. Книга: Механика грунтов, основания и фундаменты

04. Статья: Устойчивые сочетания поведенческих актов у высокоэнтропийных и низкоэнтропийных крыс в процессе адаптации к условиям «открытого поля»

05. Книга: Флюидный режим Земли и проблема крупномасштабного рудообразования

06. Книга: Рецепты из поваренных книг семейства Пушкиных-Ганнибаловых

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://sci.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.