Статья: Осаждение алмазных пленок в плазме СВЧ-факела при атмосферном давлении

Скачать

В СВЧ-разряде факельного типа в аргон-водород-метановых смесях при атмосферном давлении реализовано осаждение алмазных пленок. Определены параметры плазмы в факеле, исследованы оптические спектры плазмы в условиях роста пленок. Представлены результаты анализа структуры углеродных пленок методом рамановского рассеяния.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 1 страница
Загрузил(а): Сергейчев Константин
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о статье

ISSN: 1996-0948
EISSN: 2949-561X
Журнал: Прикладная физика
Год публикации: 2008
Автор(ы): Сергейчев К. Ф., Лукина Н. А., БОЛЬШАКОВ А.П., Ральченко В. Г., Арутюнян Н. Р., Бокова С. Н., Конов В. И.
Ключевые фразы: физика плазмы, плазменные технологии, свч-разряд факельного типа
Каталог SCI: Физика
УДК: 537.9. Физика конденсированного состояния

Статистика просмотров

Статистика просмотров статьи за 2026 год.

Ранее вы смотрели (10)

01. Статья: Виртуальный конвейер генерации данных для анализа методов компьютерной томографии

02. Статья: Методические и технологические аспекты производства безлактозных молочных продуктов

03. Статья: Многофакторная модель управления формообразованием крупногабаритных оптических деталей

04. Книга: Научно-популярная библиотека. Измерения и меры

05. Статья: ФИНАНСОВОЕ СОДЕРЖАНИЕ КАТЕГОРИИ"ОТМЫВАНИЕ ПРЕСТУПНЫХ ДОХОДОВ":ОБЗОР НАУЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ

06. Статья: ВЫЯВЛЕНИЕ ЦЕНТРОВ ОПОРНОГО КАРКАСА ХОЗЯЙСТВА НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ДАННЫХ ДИСТАНЦИОННОГО ЗОНДИРОВАНИЯ СИБИРСКОГО РЕГИОНА В НОЧНОЕ ВРЕМЯ

07. Статья: УПРАВЛЕНИЕ НАЛОГОВЫМИ ОБЯЗАТЕЛЬСТВАМИ И РИСКАМИ НА ПРЕДПРИЯТИИ

08. Статья: ПОТРЕБНОСТЬ В ИНФОРМАЦИИ О ЗДОРОВОМ ОБРАЗЕ ЖИЗНИ И УРОКИ ПАНДЕМИИ КОРОНАВИРУСА

09. Книга: Планета Земля глазами химика

10. Статья: ОСОБЕННОСТИ РЕАЛИЗАЦИИ ЯЗЫКОВОЙ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЙ ПОЛИТИКИ В СОЦИАЛЬНО-ИСТОРИЧЕСКОМ КОНТЕКСТЕ РАЗВИТИЯ ОБЩЕСТВА ГОНКОНГА

Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.

Создать тему для обсуждения

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://sci.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.