Статья: Эпитаксиальный синтез алмазных слоев на монокристаллической алмазной подложке в факельном СВЧ-плазмотроне (2010)

Читать онлайн

Получен эпитаксиальный рост алмазной монокристаллической пленки в факельном СВЧ-разряде, возбуждаемом магнетроном бытовой микроволновой печи мощностью ≤ 1 кВт, в газовой смеси аргон—водород с высоким содержанием метана (до 25 % к водороду) при атмосферном давлении на подложке из синтетического монокристалла алмаза (HPHT) с ориентацией (100) и размером ~ 4x4 мм. Показано, что разряд с диаметром факела ~2 мм и концентрацией СВЧ-мощности, поглощаемой в объеме факела >103 Вт/см3, эффективен для эпитаксиального наращивания слоев на монокристаллах синтетического алмаза. Структура осажденной пленки толщиной до 10 мкм качественной морфологии исследована оптическим микроскопом, а также методами комбинационного рассеяния и растровой электронной микроскопии.

The epitaxial growth of diamond film was realized at atmospheric pressure on the facet (100) of synthetic diamond single crystal substrate (HPHT) with sizes ~ 4x4 mm under action of the torch microwave discharge, activated by home oven magnetron radiation with power less than 1 kW in gases mixture of argon—hydrogen at high methane content (up to 25 % in relative to hydrogen). It was shown that the torch flame with its diameter ~ 2 mm and microwave power density absorbed in the torch volume > 103 W/cm3 is effective for the epitaxial enlargement of the synthetic single crystal. The structure of the deposited film of high quality with thickness ~ 10 microns was studied by means of optical microscope, Raman spectroscopy and scanning electron microscopy.

Ключевые фразы: СВЧ-разряд, алмаз, пленка, МИКРОСКОПИЯ, плазма
Автор (ы): Сергейчев Константин Фёдорович (Sergeychev K. F.), Лукина Наталья Александровна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
537.9. Физика конденсированного состояния
Для цитирования:
СЕРГЕЙЧЕВ К. Ф., ЛУКИНА Н. А. ЭПИТАКСИАЛЬНЫЙ СИНТЕЗ АЛМАЗНЫХ СЛОЕВ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ АЛМАЗНОЙ ПОДЛОЖКЕ В ФАКЕЛЬНОМ СВЧ-ПЛАЗМОТРОНЕ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2010. №6
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.