Статья: Влияние условий напыления на микроструктуру пленок индия (2012)

Читать онлайн

Представлены результаты исследования влияния чистоты исходной поверхности, давления остаточных газов в вакуумной камере, скорости напыления и других факторов на микрокристаллическую структуру слоев индия.

Results of investigation of the preparation parameters at indium films structure formation are obtained. It is shown that microstructure is a function of deposition variables including impurities in vacuum chamber, deposition rate and substrate temperature. The results are describing in terms of the structure zone model (SZM).

Ключевые фразы: микроструктура, ПЛЕНКИ, вакуумная камера, индий, остаточные газы
Автор (ы): Кардонов Никита Владимирович (Kardonov N. V.), Климанов Евгений Алексеевич, Ляликов Алексей Владимирович, Мезин Юрий Сергеевич, Седнев Михаил Васильевич, Трошин Богдан Васильевич, Шаронов Юрий Павлович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.5. Проводники и полупроводники по виду материала
Для цитирования:
КАРДОНОВ Н. В., КЛИМАНОВ Е. А., ЛЯЛИКОВ А. В., МЕЗИН Ю. С., СЕДНЕВ М. В., ТРОШИН Б. В., ШАРОНОВ Ю. П. ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ НАПЫЛЕНИЯ НА МИКРОСТРУКТУРУ ПЛЕНОК ИНДИЯ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2012. №3
Текстовый фрагмент статьи
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.