Статья: Возможности планетарной схемы обработки для группового шлифования и полирования пластин InSb и матричных модулей (2026)

Читать онлайн

В работе предложена групповая обработка по планетарной схеме, разработаны конструкторско-технологические решения, и проведен ряд процессов для пластин InSb и матричных модулей. По результатам измерений показана возможность увеличения производительности труда и выхода годных в единицу времени при одновременном снижении материальных затрат.

During serial production, one of the key aspects, along with increasing productivity while maintaining product quality and reproducibility, is the desire to reduce costs and labor intensity. Single-sided lapping and polishing operations typically use an orbital machining system with individual loading. Switching to a planetary system potentially offers the optimal solution; however, it requires high precision and a significant upgrade in equipment design.

This paper proposes a planetary scheme of lapping and polishing, develops design and techno- logical solutions, and conducts a series of processes on InSb wafers and matrix modules. Measurement results demonstrate the potential for increased labor productivity and yield while simultaneously reducing material costs.

Ключевые фразы: планетарная схема обработки, шлифование и полирование, InSb, матрич- ный модуль
Автор (ы): Улькаров Вадим Айратович (Ulkarov V. A.), Трофимов Александр Александрович, Саркисов Никита Андреевич, Кузин Владислав Олегович, Арбузов Кирилл Юрьевич, Размахнин Иван Дмитриевич, Кобыш Алина Николаевна, Козлов Роман Юрьевич, Нестюркин Михаил Сергеевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
Для цитирования:
УЛЬКАРОВ В. А., ТРОФИМОВ А. А., САРКИСОВ Н. А., КУЗИН В. О., АРБУЗОВ К. Ю., РАЗМАХНИН И. Д., КОБЫШ А. Н., КОЗЛОВ Р. Ю., НЕСТЮРКИН М. С. ВОЗМОЖНОСТИ ПЛАНЕТАРНОЙ СХЕМЫ ОБРАБОТКИ ДЛЯ ГРУППОВОГО ШЛИФОВАНИЯ И ПОЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИН INSB И МАТРИЧНЫХ МОДУЛЕЙ // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2026. №2
Текстовый фрагмент статьи
Моя история просмотров (10)
Будьте первым, кто начнет обсуждение

Если у вас возникли вопросы или появились предложения по содержанию статьи, пожалуйста, направляйте их в рамках данной темы.